微位移技系统整体设计

本设计的微位移传感器是基于像散法光学检焦技术设计的微位移检测系统。该系统通过四象限光电探测器所测得的聚焦误差信号计算出被测平面与焦点之间的位移差，并将数据经由微处理器显示且发送至计算机完成数据传输与保存。
设计实现的主要功能：
（1）能用于微米级的微位移检测
（2）能将传感器所测得的数据经过运算后得到离焦量
（3）能将测量结果经数码管显示
（4）实现非接触式检测
（5）测量速度小1ms。
设计的技术指标:测量范围：4mm，精度，±2um。
本文分三大部分。第一部分包括第一章，描述微位移技术的发展背景，以及介绍目前微位移技术在我国以及国际的一些发展情况。第二部分包括第二、三章，给出高速微位移测量仪的硬件设计和软件设计。第三部分包括第四章,得出本设计的结论并对设计的下一步工作做出展望。