高速微位移测量仪现状

近几十年来，中国各方面均处于一个高速发展状态，但是科技发展速度和工业制造发展速度均落后于经济发展速度。在很多制造业现在仍然在使用落后于世界的制造工艺，这招致本国制造产品在世界市场缺失竞争能力，大多只能靠压低价格进行销售。于是，对于本国制造业而言，提高产品质量与产品精度变得十分重要。此外，微位移技术是现代工业的主要组成部分之一，它几乎影响着现代工业中的各领域，并且受到国内与国外研究人员的极大关注，成为提高现代工艺制造水平的一个主要的研究方向。
微位移技术除了在现代工业制造有着举足轻重的地位，同时在可行研究领域内也占有相当重要的位置。因为，它直接影响了制造产品的精确性，例如产品的切削加工水平，同时它也是一些集成电路生产水线中的一个关键环节。在生物，医学，光纤对接，微加工业，微型机器人装配，航天航空等先进科技领域中，微位移技术更是无与伦比的重要。
纵观现有的微位移测量的系统，基本上可将整体系统分为三个部分：微位移组件、检测机构、控制系统。三部分相互协作调节检测机构和控制系统是为了让微位移机构达到更高的精度。也就是当微位移机构达不到预想的精度时，需要检测装置和控制装置不断的纠正和误差修正，使得微位移机构能够更精确的执行。目前实行微位移技术的应用原理有：激光干涉法、光杠杆法、光栅尺测量法、激光CCD点阵法、光纤测量法等。