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电气工程自动化-微位移高速测量仪


近几十年来,中国各方面均处于一个高速发展状态,但是科技发展速度和工业制造发展速度均落后于经济发展速度。在很多制造业现在仍然在使用落后于世界的制造工艺,这招致本国制造产品在世界市场缺失竞争能力,大多只能靠压低价格进行销售。因此,提高制造工艺水平,提高产品质量与精度变得尤为重要。
作为现代工业的重要组成部分,微位移技术几乎左右着各领域,并且受到国内外研究人员的极大关注,成为了提高现代工艺制造水平的一个重要的研究方向。
微位移技术除了在现代工业制造有着举足轻重的地位,同时在可行研究领域内也占有相当重要的位置。因为,它直接影响了制造产品的精确性,例如产品的切削加工水平,同时它也是一些集成电路生产水线中的一个关键环节。在生物,医学,光纤对接,微加工业,微型机器人装配,航天航空等先进科技领域中,微位移技术更是无与伦比的重要。
微位移技术的系统一般有微位移机构、检测装置、控制系统三部分组成。检测装置和控制系统是为了让微位移机构达到更高的精度。也就是当微位移机构达不到预想的精度时,需要检测装置和控制装置不断的纠正和误差修正,使得微位移机构能够更精确的执行。目前实行微位移技术的应用原理有:激光干涉法、光杠杆法、光栅尺测量法、激光CCD点阵法、光纤测量法等。
目前,发达国家在微位移技术(纳米技术)的研究在投入了大量的资金和人力后取得了很多客观成果。美国、德国所生产的位移传感器走在前列,具有寿命长、适用范围广、适于高温高压和强振动等一系列极其恶劣的情况下还能够高准确测量等特点,且各种位移传感器都在向着高速度、高精度、多功能、多参数、小尺寸的方向发展,已被各军事、工业、农业市场所接受,广泛应用于机械、电力、发电厂、航空航天、冶金、煤炭、石油、铁路、交通、轻工、纺织、建材、水利等行业的工矿企业、科研院所、大专院校、军工单位产品开发与应用的自动测量与自动控制。例如,美国LODTM机床上用的快速刀具伺服机构在±1.27μm范围内分辨率可达2.5nm,频响可达100Hz;日本制作采用柔性支承导轨,压电驱动方式的微位移机构的位移精度为±0.05μm,行程为±8μm,该机构均成功运用于电子束曝机。而我国,在这方面的研究还比较落后,精密、超精密水平,大规模集成电路的生产水平远远落后于美日等发达国家。因此,开展精密微位移系统的研究有利于缩小我们与先进国家同行业的差距,促进我国精密仪器仪表,精密、超精密加工水平的提高,有利于推动我国大规模集成电路知道的发展,促进我国纳米技术方面的研究。

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